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Si(001)衬底上APCVD生长3C-SiC薄膜的 微孪晶及含量.pdf   
所属分类： N 自然科学总论 
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关 键 词： zz郑新和 渠 波 王玉田 戴自忠 Si(001)衬底上APCVD生长3C-SiC薄膜的 微孪晶及含量 
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更新时间:2009年10月1日
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